六氟化硫-江苏凯美电子-六氟化硫处置与储存

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    泄漏应急处理

    SF6气体已有百年历史,它是法国两位化学家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性气体,1940年前后,美国军方将其用于曼哈顿计划(核军事)。

    应急处理:迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。如有可能,即时使用。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。


    高纯六氟化硫的应用

     六氟化硫的使用可以增加设备运行的安全性、缩小设备体积、延长设备寿命。近几年,国家大力发展基础电力行业,六氟化硫用途,给六氟化硫厂家带来了很大的市场机遇。


    高纯六氟化硫(纯度在99.99%以上),国内需求非常旺盛,六氟化硫,而且附加值较高。

     高纯六氟化硫主要用于半导体工业中作清洗气体。

     六氟化硫的成本只有NF3的几分之一,近年来,各公司以廉价的SF6取代以往CVD工艺中作为清洗气体的NF3的新技术正被广泛研究。

     该技术在大幅降低液晶产品加工中占相当比例的CVD气体成本的同时,还显示出了极i佳的环保前景,近年来用量有明显的提高。

     据权i威机构预测,2010年我国将成为仅次于美国的世界第二大集成电路市场,总需求量约为500亿美元。目前国内使用高纯六氟化硫作为蚀刻气的生产线约有50条左右预计。2016年将达到700吨左右,

     国内使用六氟化硫作为蚀刻气的生产线有近50条,六氟化硫供应商,在未来的五年预计将有20条至30条新线建成。每年约消耗高纯六氟化硫为600吨左右。而国内高纯六氟化硫产品远远不能满足市场需求,半导体厂家所用高纯产品大部分依赖进口,这给高纯六氟化企业提供更多的发展机遇。





      目前采用第二种试验方法较为准确,其实施程序是:抽真空检验→SF6气体→六氟化硫气体泄漏检验。

     具体过程为:在GIS经真空检漏并静止SF6气体5h后,用塑料薄膜在法兰接口等处包扎,再过24h后进行检测,如果有一处薄膜内SF6气体的浓度大于30ppm,则该气室漏气率不合格。如果所有包扎薄膜内SF6气体的浓度均小于30ppm,则认为该气室漏气率合格。

     六氟化硫气体泄漏在线监控报警系统是检测现场SF6气体浓度、氧气含量及温湿度等环境数据,并通过大量数据分析处理做出控制以及告警的智能气体报警系统。 


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